會議介紹

由德國聯(lián)邦物理技術(shù)研究院（PTB）主辦的2025年真空紫外與極紫外計量研討會（PTB-Seminar on VUV and EUV Metrology 2025） 將于2025年10月14日至15日在德國柏林PTB柏林分校區(qū)的赫爾曼-馮-亥姆霍茲大樓報告廳隆重舉行。

本屆會議將涵蓋多個前沿主題，包括極紫外光刻與測量技術(shù)的工業(yè)應(yīng)用、天基VUV與EUV光譜學(xué)的最新進展，以及納米結(jié)構(gòu)表面的研究等。緊隨本次研討會之后，PTB還將于2025年10月16日至17日舉辦"Quantification of Uncertainties in Nano-Metrology" (QUNOM) 研討會，為參會者提供更多深入交流的機會。

optiX fab. 特邀報告

2025年10月15日，來自optiX fab.的Marcus Trost博士將帶來題為Observing the sun at short wavelengths – Optical coatings for the solar telescopes MUSE and EUVST 的邀請報告，分享optiX fab.在MUSE 與 EUVST項目中的最新研究成果。

天體光譜學(xué)是探測天體物理和化學(xué)性質(zhì)不可或缺的工具。與觀測分子振動和旋轉(zhuǎn)的紅外光譜、以及觀測特征氣體吸收線的可見光譜相比，能量更高的極紫外（EUV）光譜能夠探測到高度電離原子的發(fā)射線。這對于太陽觀測而言至關(guān)重要，因為這些高度電離態(tài)只有在極高的溫度下才會產(chǎn)生，使得EUV光譜學(xué)成為測量數(shù)百萬開爾文高溫的完美"溫度計"。

Trost博士的報告將聚焦于計劃分別于2027年和2029年發(fā)射的兩臺太陽望遠(yuǎn)鏡：MUSE 與 EUVST。這兩項太陽探測任務(wù)的科學(xué)目標(biāo)，旨在深入理解驅(qū)動太陽熾熱大氣加熱的物理過程，以及涉及耀斑和日冕物質(zhì)拋射等空間天氣事件的物理機制，這些事件對現(xiàn)代基礎(chǔ)設(shè)施（如衛(wèi)星、電網(wǎng)、GPS精度等）有著直接影響。

盡管兩顆衛(wèi)星將共享部分光譜信息，但它們的技術(shù)路徑不同且高度互補。這導(dǎo)致了對鏡子和光柵光學(xué)涂層的根本性不同要求。

• EUVST 被設(shè)計為一種單狹縫光譜儀，覆蓋非常寬廣的發(fā)射線溫度范圍，這需要寬帶非周期性EUV多層膜設(shè)計。

• MUSE 則是一種多狹縫光譜儀，具有大視場和僅12秒的高時間分辨率，旨在首次完整捕獲光譜儀狹縫下大規(guī)模日冕事件的快速時空演化。這需要多通道、極窄帶涂層以避免光譜串?dāng)_。

報告中將透露，optiX fab.已于今年成功為這兩臺太陽望遠(yuǎn)鏡的飛行硬件完成了光學(xué)涂層的制備工作。除了極具挑戰(zhàn)性的光譜反射率要求，Trost博士還將闡述為滿足望遠(yuǎn)鏡輕量化基底結(jié)構(gòu)并支持其革命性成像目標(biāo)，而在機械特性和涂層應(yīng)力屬性方面所進行的定制化設(shè)計與實現(xiàn)。

本次會議得到了行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先企業(yè)的支持。我們的重要合作伙伴optiX fab.、XRnanotech和greateyes將作為本次會議的贊助商，參與此次行業(yè)盛會。

德國optiX fab.成立于2012年，致力于設(shè)計，開發(fā)和制造各類多層膜鏡。optiX fab.已經(jīng)為全球高端制造商以及研究所、大學(xué)、同步輻射客戶提供定制的用于XUV/軟硬X光光譜范圍內(nèi)的多層膜和掠入射光學(xué)器件。

XRnanotech是瑞士知名的Paul Scherrer Institute研究所10多年研發(fā)的結(jié)晶，于2020年成立，旨在將最新的突破性X射線光學(xué)創(chuàng)新引入市場。瑞士XRnanotech 專注于研究納米結(jié)構(gòu)，開發(fā)和制造最具創(chuàng)新性的X射線光學(xué)器件，以實現(xiàn)最高分辨率、效率、穩(wěn)定性和設(shè)計質(zhì)量。產(chǎn)品線包括：菲涅耳波帶片、納米級光柵、金剛石光學(xué)器件、納米分辨率測試卡、3D分辨率測試卡等。

greateyes 成立于2008年，以德國柏林洪堡大學(xué)的技術(shù)為基礎(chǔ)，迅速發(fā)展成為國際知名的先進探測器生產(chǎn) 企業(yè)。如今，其科研與工業(yè)客戶群體己遍布多個國家。greateyes開發(fā)、生產(chǎn)并銷售高性能科學(xué)級CCD/CMOS相機。其作為精確探測器，廣泛應(yīng)用于成像與譜學(xué)應(yīng)用領(lǐng)域。

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司作為optiX fab.、XRnanotech和greateyes公司中國區(qū)的獨家合作伙伴，為中國客戶提供所有產(chǎn)品的售前咨詢，銷售及售后服務(wù)。我司始終致力于為廣大科研用戶提供專業(yè)的EUV、X射線產(chǎn)品及解決方案。

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